氩气
高纯氩技术指标（执行标准：GB/T4842-2017）
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指标 |
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优等品 |
一等品 |
合格品 |
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氩纯度，10-2 大于等于 |
99.9996 |
99.9993 |
99.999 |
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氢含量，10-6 小于等于 |
2 |
4 |
5 |
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氧含量，10-6小于等于 |
1 |
1 |
2 |
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氮含量，10-6 小于等于 |
0.5 |
1 |
1 |
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总碳含量（以甲烷计），10-6小于等于 |
0.5 |
1 |
2 |
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水分含量，10-6 小于等于 |
1 |
2.6 |
4 |
